Introduction to microelectronic fabrication
Richard C. Jaeger.
2nd ed.
Upper Saddle River, N.J. : Prentice Hall, ©2002.
xiv, 316 págs. : ilustraciones ; 24 cm.
Serie: Modular series on solid state devices ; v. 5
ISBN: 0201444941, 9780201444940 (ISBN-13)
Incluye referencias bibliográficas e índice.